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ELIAS-I/-LD
发射谱线分析光谱仪系列
世界******分辨率的中阶梯光栅光谱仪
************的中阶梯光栅光谱仪，在利特罗（Littrow）结构中拥有******的光谱解析能力-用于高分辨率的发射和吸收谱线的分析，尤其是准分子激光光刻技术。
· Intensity dynamics of up to 4 orders
· ******光谱解析能力 (2.5 million-10 million)
· 极高成像质量
· 简单没有失误的操作控制
· Motorized optomechanics
ELIAS的超高分辨率得益于超大中阶梯光栅的应用及与之匹配的光路设计——中阶梯光栅通过非常高的衍射级次可获得极高的理论分辨率（femtometer level）；LTB的工程师通过两个方面的设计实现超大中阶梯光栅的理论分辨率：
· 逼近衍射极限的消色差成像光路
· 足够高的线色散来确保以5~10个像素（CCD）来解析光谱谱线的半高宽；
ELIAS利用宽达360mm的超大中阶梯光栅（Echelle grating）以利特罗（Littow）自准直结构构成光路；ELIAS不同于靠干涉方式测量光谱的分析设备，ELIAS的中阶梯光栅的高衍射级次及******次等效于零级的衍射能量分布，可通过CCD实现宽光谱直拍，因此ELIAS非常适合脉冲激光光谱的分析应用（通过外部TTL触发可协同激光器工作）。ELIAS可以配置背照型科学级CCD作为探测器可获得非常理想的信噪比（104）
规格参数（Specifications）
| 可探测信号模式 |
CW/Pulsed |
|
******可探测光谱范围 |
190~1100nm(157nm possible) |
|
******光谱解析能力(λ/∆λ) |
8,800,000 |
|
******光谱分辨率 |
22fm@193nm |
| ************光谱精度 | 0.1pm |
| ******光谱窗口 |
>0.8nm |
| ******可探测脉冲能量 |
<10μJ |
|
信号输入模式 |
Fiber，SMA，Mirror，Free Space |
|
校准方式 |
full auto/Manual；Hg（Neon）Lamp |
|
触发模式 |
TTL+5V |
| 工作环境要求 |
温度：10~30℃；湿度：<65% |
ELIAS I : ELIAS 系列的标准版
ELIAS LD : ELIAS 系列的低色散型号，that does not resolve the halfwidths of the lines with 5 to 10 pixels but instead the free spectral range could be trebled without considerably decreasing the spectral resolving capability compared to ELIAS I
| Model | ELIAS I | ELIAS-LD | ||
|---|---|---|---|---|
| Pass | single | double | single | double |
| Wavelength [nm] | λsimul [pm] | λsimul [pm] | λsimul [pm] | λsimul [pm] |
| 157 | 45 | 14 | 152 | 49 |
| 193 | 48 | 15 | 170 | 52 |
| 248 | 64 | 20 | 227 | 71 |
| 266 | 73 | 25 | 275 | 92 |
| 532 | 146 | 49 | 551 | 185 |
| 766 | 244 | 82 | 846 | 293 |
| 1,064 | 292 | 98 | – | 626 |
| Wavelength [nm] | FWHM [pm] | FWHM [pm] | FWHM [pm] | FWHM [pm] |
| 157 | 0.254 | 0.083 | 0.31 | 0.10 |
| 193 | 0.283 | 0.086 | 0.34 | 0.11 |
| 248 | 0.376 | 0.117 | 0.46 | 0.15 |
| 266 | 0.428 | 0.147 | 0.55 | 0.19 |
| 532 | 0.856 | 0.294 | 1.10 | 0.37 |
| 766 | 1.400 | 0.482 | 1.70 | 0.59 |
| 1,064 | 1.711 | 0.588 | – | 1.25 |
应用领域（Application）
· 激光诱导击穿光谱（LIBS）
· 准分子激光光刻技术
· 测量二极管激光器的光谱、时间稳定度和固态激光器的发射谱线
光谱样图（Spectrum sample figure）
暂无样图